[实用新型]一种等离子三向进气抽气设备有效

专利信息
申请号: 201922211711.4 申请日: 2019-12-11
公开(公告)号: CN211538826U 公开(公告)日: 2020-09-22
发明(设计)人: 杨志军 申请(专利权)人: 苏州爱特维电子科技有限公司
主分类号: B08B7/00 分类号: B08B7/00
代理公司: 南京正联知识产权代理有限公司 32243 代理人: 陈斐
地址: 215300 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种等离子三向进气抽气设备,包括腔体,在腔体的前侧和后侧分别设置有前门和后门,在腔体内壁的顶部、左侧和右侧分别设置有上进气排、左进气排和右进气排,在腔体外侧的左侧、右侧和底部设置有与腔体连通的左抽气管、右抽气管和下抽气管,左抽气管、右抽气管和下抽气管分别通过左抽气管电磁阀、右抽气管电磁阀和下抽气管电磁阀接入到抽气管接头上,上进气排、左进气排和右进气排均通过电磁阀控制通断,上进气排与下抽气管同时接通或关闭,左进气排和右抽气管同时接通或关闭,右进气排和左抽气管同时接通或关闭。本实用新型结构简单、设计合理,能够从三方位对汽车板、企业通讯市场板、办公工业设备板等的高纵横比孔径进行除胶。
搜索关键词: 一种 等离子 进气抽气 设备
【主权项】:
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