[实用新型]一种双摄像头并行共焦差动显微3D形貌测量装置有效
申请号: | 201922212901.8 | 申请日: | 2019-12-11 |
公开(公告)号: | CN210922541U | 公开(公告)日: | 2020-07-03 |
发明(设计)人: | 朱星星;易定容;孔令华;黄彩虹;蒋威;赖东明;叶一青 | 申请(专利权)人: | 宁波五维检测科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 成都时誉知识产权代理事务所(普通合伙) 51250 | 代理人: | 李双 |
地址: | 315000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型具体涉及一种双摄像头并行共焦差动显微3D形貌测量装置,该装置包括:包括双摄像头图像采集模块、照明模块、光学成像模块、图像分析及电动载物台控制模块;利用面阵相机作为探测器,克服了传统激光共焦技术单点和逐层扫描效率低的问题;利用数字微镜器件的微镜阵列作为虚拟的并行针孔实现非接触式扫描,非单点扫描或逐层扫描,能实现一次自动聚焦后,在无机械运动的情况下,通过双摄像头并行共焦差动完成样本大视场微观3D形貌测量。 | ||
搜索关键词: | 一种 摄像头 并行 差动 显微 形貌 测量 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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