[实用新型]一种珠式硅片花篮

摘要

本实用新型公开了一种珠式硅片花篮，属于硅片生产设备技术领域。它包括端板、底杆、珠式侧杆，两块平行的端板底部通过两根底杆连接固定，端板两侧分别固定有两根珠式侧杆；所述端板上设有用于固定珠式侧杆端部的水平长圆孔；所述珠式侧杆由不锈钢杆和珠子型外管构成，珠子型外管上设有等间距分布的扁平圆珠体，珠子型外管内部设有中轴孔，多个珠子型外管组合套在不锈钢杆上，不锈钢杆端部设有螺丝孔，不锈钢杆两端螺丝孔与端板的水平长圆孔螺接固定。使用分段式的珠子型外管和不锈钢杆组合成珠式侧杆，当某段珠子型外管出现损坏，能够只更换损坏部分，而不需要整体更换，大大节省了维修成本。