[实用新型]一种溅射钽环有效
| 申请号： | 201922225366.X | 申请日： | 2019-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN211170864U | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;章丽娜 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种溅射钽环，所述溅射钽环的直径为385.07‑385.57mm，所述溅射钽环上设置有端口，所述端口处的两个端面为平行设置，所述端面与所述溅射钽环的侧面的夹角为70‑80°，本实用新型所述溅射钽环的端口采用上述斜口设计，其能明显改善镀膜过程的均匀性，从而解决传统溅射钽环直口设计存在的镀膜不均匀的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 | ||
【主权项】：
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