[实用新型]3DMEMS探针卡用磨针装置及其电机驱动和调节结构有效
| 申请号： | 201922225471.3 | 申请日： | 2019-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN211029422U | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 刘明星;黄海军 | 申请（专利权）人： | 强一半导体（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B24B19/16 | 分类号： | B24B19/16;B24B41/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种3DMEMS探针卡用磨针装置及其电机驱动和调节结构，包括支撑柱、底板、顶板、电机驱动结构和调节结构，电机驱动结构包括顶板、盖板、导向槽、导向块、第一电机和轴承；调节结构包括滑槽、紧固螺栓、滑板、卡板、卡槽和调节柱。可直接将探针卡合在安装孔的内部，通过移动安装板在活动槽内部的位置来调节探针与打磨盘上表面之间的位置，再通过拧紧紧固螺栓将顶板与安装板进行固定，能够提高打磨盘的使用效率；通过第一电机可驱动螺纹柱转动，由于螺纹柱与第一螺纹孔螺纹连接，此时螺纹柱会带动导向块顺着导向槽运动，以此来调整探针与打磨盘之间的距离，适用于不同长度的探针针尖的打磨。 | ||
| 搜索关键词： | dmems 探针 卡用磨针 装置 及其 电机 驱动 调节 结构 | ||
【主权项】：
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