[实用新型]一种基于平面线圈面内检测的微陀螺

摘要

本实用新型公开了一种基于平面线圈面内检测的微陀螺，包括下基板，设置在下基板上的键合框体以及设置在键合框体上的上基板，所述上基板包括:支撑框体、外质量块、内质量块,所述外质量块设置在所述支撑框体内侧，所述内质量块设置在所述外质量块内侧，所述支撑框体内侧的边角处设置有驱动组件与所述外质量块连接，所述外质量块内侧的边角处设置有检测组件与所述内质量块连接，所述内质量块上设置有平面线圈。本实用新型的微机械陀螺仪，其整体结构对称，利用平面线圈切割磁感线产生电动势效应检测微弱柯式力，输出精度高，结构合理、紧凑，且具有灵敏度高、可靠性好的优点。