[实用新型]一种区熔硅单晶的加持结构有效
申请号: | 201922248626.5 | 申请日: | 2019-12-11 |
公开(公告)号: | CN211256150U | 公开(公告)日: | 2020-08-14 |
发明(设计)人: | 郝大维;张志富;王克旭;李皓;吴峰;楚占斌;王彦君 | 申请(专利权)人: | 中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司 |
主分类号: | C30B13/00 | 分类号: | C30B13/00;C30B29/06 |
代理公司: | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人: | 耿树志 |
地址: | 214200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种区熔硅单晶的加持结构,包括外轴、固定件,所述销子本体为丁字结构,顶端设有螺母,中间为较厚的圆形钼板,钼板边缘设有弧形开口,弧形开口与区熔硅单晶的直径相对应,弧形开口紧贴与区熔硅单晶,中间设有与螺母对应的螺栓孔,低端设有固定销,固定销穿过钼板与螺母进行链接,固定销固定在区熔硅单晶制造机的外轴,钼板的倒角将区熔硅单晶进行加持。本实用新型所述的倒角销子片采用的是较厚的钼板作为原材,在与区熔硅单晶接触面处进行倒角处理,使得销子片与区熔硅单晶接触面加大,贴合,从而达到区熔硅单晶加持更稳定的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 区熔硅单晶 结构 | ||
【主权项】:
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