[实用新型]一种新型靶材固定装置有效
| 申请号： | 201922254086.1 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN211445875U | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 吴伟亮;冯刚;邓永琪;汪毅;梁海洋 | 申请（专利权）人： | 苏州星蓝纳米技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00 |
| 代理公司： | 江苏昆成律师事务所 32281 | 代理人： | 刘尚轲 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 为了解决现有的通过螺丝将靶材锁死在铜块上引起的靶材散热效果差的问题，本实用新型提出一种新型靶材固定装置，其特征在于：其包括：靶材固定装置主体1、防呆螺旋纹2和内圈凸起固定环3，其中，靶材固定装置主体1为圆环形结构，在圆环形结构的侧壁外部设有一个或多个防呆螺旋纹2，内圈凸起固定环3位于圆环形结构的侧壁内部，内圈凸起固定环3沿着圆环形结构的内侧壁向外延伸并超出靶材固定装置主体1，靶材主体4穿过靶材固定装置主体1的圆环形结构的内部。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 固定 装置 | ||
【主权项】：
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