[实用新型]一种真空镀膜机的旋转密封结构有效
| 申请号： | 201922265769.7 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN211449632U | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 吴伟亮;汪毅;邓永琪;梁海洋 | 申请（专利权）人： | 苏州星蓝纳米技术有限公司 |
| 主分类号： | F16J15/10 | 分类号： | F16J15/10;F16J15/43;C23C14/00 |
| 代理公司： | 江苏昆成律师事务所 32281 | 代理人： | 刘尚轲 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 为了解决PVD真空镀膜机在工作的过程中高温和电子对磁流体密封性能的影响，本实用新型提出一种真空镀膜机的旋转密封结构，其包括：PVD真空镀膜机外壳1、磁流体密封2和气缸3，PVD真空镀膜机外壳1的内部包括两个腔室，分别为第一腔室11和第二腔室12，可旋转门13的下部转轴131固定在PVD真空镀膜机的底部，可旋转门13的上部转轴132穿过PVD真空镀膜机的顶部，其特征在于：还包括聚氟四乙烯垫圈4，聚氟四乙烯垫圈4的中心设有一个开孔，上部转轴132可以穿过聚氟四乙烯垫圈4的中心，磁流体密封2的主体外壳的下表面与聚氟四乙烯垫圈4的上表面贴合，磁流体密封2的传动轴21穿过聚氟四乙烯垫圈4的中心并与上部转轴132固定连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 旋转 密封 结构 | ||
【主权项】：
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