[实用新型]一种散热效果好的MEMS芯片的封装结构有效
申请号: | 201922271268.X | 申请日: | 2019-12-17 |
公开(公告)号: | CN211226329U | 公开(公告)日: | 2020-08-11 |
发明(设计)人: | 王标;苏岩;夏续金 | 申请(专利权)人: | 江苏感测通电子科技有限公司 |
主分类号: | B81B7/00 | 分类号: | B81B7/00;B81B7/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 226100 江苏省南通市海门*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种散热效果好的MEMS芯片的封装结构,包括基板,所述基板的中线上分别加工第一下气孔、第二下气孔和第三下气孔,基板表面上涂覆有一层围绕第一下气孔、第二下气孔和第三下气孔的胶黏剂,基板通过胶黏剂连接封盖。本散热效果好的MEMS芯片的封装结构,基板通过胶黏剂连接封盖,第一下气孔、第二下气孔、第三下气孔进气从第一上气孔和第二上气孔排出,利用其相互导通的气孔设置,增加了气流的流速,散热上片和散热下片之间夹持MEMS芯片,散热上片和散热下片可以将MEMS芯片的热量从上导热孔和下导热孔传递到外部,其网格状的社会资不会影响其气流流,完成散热。 | ||
搜索关键词: | 一种 散热 效果 mems 芯片 封装 结构 | ||
【主权项】:
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