[实用新型]PNP型肖特基集电区AlGaN/GaN HBT器件有效
申请号: | 201922274452.X | 申请日: | 2019-12-17 |
公开(公告)号: | CN210110780U | 公开(公告)日: | 2020-02-21 |
发明(设计)人: | 李迈克 | 申请(专利权)人: | 中证博芯(重庆)半导体有限公司 |
主分类号: | H01L29/737 | 分类号: | H01L29/737;H01L29/47;H01L29/10;H01L29/06;H01L21/331;H01L29/20;H01L29/207 |
代理公司: | 重庆中之信知识产权代理事务所(普通合伙) 50213 | 代理人: | 霍维英 |
地址: | 401520 重*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本实用新型公开了PNP型肖特基集电区AlGaN/GaN HBT器件,从下往上依次包括:衬底、埋氧层、集电区、基区以及发射区,所述集电区包括下层的P型单晶硅层以及上层的金属硅化物层,所述基区包括N型AlGaN层,所述发射区包括P型GaN层;所述P型单晶硅层上设有集电极,所述N型AlGaN层上设有基极,所述P型GaN层上设有发射极。本实用新型接触界面特性好,可提高器件开关速度和截止频率。 | ||
搜索关键词: | pnp 型肖特基集电区 algan gan hbt 器件 | ||
【主权项】:
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