[实用新型]卧式镀膜设备

摘要

本实用新型公开了卧式镀膜设备，包括辅助装置和镀膜装置，镀膜装置与辅助装置相互连接，壳体的上端安装了防爆层，在真空加热条件下，箱体很容易因为内外气压相差太大而引起爆炸，防爆层可以使真空箱内达到稳定状态，既可以让机器能够正常运行，同时也保证了技术人员的安全，密封毛条分别安装在密封毛条槽的两侧，密封毛条在关闭门进行关闭时，能够有效地起到密封作用，防止箱体因密封不强而出现不纯气体，进而影响镀膜效果，固定阀分别安装在圆环的两侧，可以进行简单的安装与拆卸，方便技术人员进行清洗，抓手安装在液压杆的一侧，吸附层安装在垫层的上端，抓手与吸附层相互配合，可以让基片放置的更加稳固，增大了基片镀膜的稳定性与均匀性。