[实用新型]一种组合式石墨舟套管和石墨舟

摘要

本实用新型公开一种组合式石墨舟套管，包括公管和母管；所述母管被构造为包括前段和后段，所述前段和后段的外径相等且大于公管的外径，所述后段的内径与公管的内径相等，所述前段具有至少一种内径大小且均大于后段内径；所述公管和母管在被组合使用时，所述公管自母管前段部分伸入并与母管后段相接触，以在公管伸入母管部分的外壁与母管前段的内壁之间形成至少一圈沟槽，所述母管前段形成用于遮挡沟槽槽壁处的薄膜沉积的遮挡壁。本实用新型还公开一种采用上述组合式石墨舟套管的石墨舟。本实用新型能尽可能降低沉积在石墨舟套管上的薄膜对舟片之间的电场产生影响，稳定镀膜工艺，提升镀膜品质，减少石墨舟清洗频率。