[实用新型]一种坩埚移动装置有效
| 申请号： | 201922287884.4 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN211394611U | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 郭锦龙;王殿儒;程云立;马华;付久龙;武金魁 | 申请（专利权）人： | 长钛工程技术研究院（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京知汇林知识产权代理事务所(普通合伙) 11794 | 代理人： | 杨华 |
| 地址： | 100040 北京市石景山*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及坩埚辅助装置技术领域，具体为一种坩埚移动装置，包括坩埚主体、坩埚行走装置和坩埚辅助行走轮装置，所述坩埚主体底部的两侧均固定安装有坩埚辅助行走轮装置，所述坩埚主体的底部固定安装有坩埚行走装置，所述坩埚行走装置的两侧均固定安装有丝母，所述丝母之间的顶部固定安装有固定组件，所述坩埚行走装置的内部固定安装有丝杠，所述丝杠的两侧均固定安装有丝杠定位螺旋装置，所述丝杠定位螺旋装置的底部固定安装有定位座，所述定位座的顶部固定安装有轴承，所述丝杠一侧的尽头固定安装有磁流体密封装置，本装置结构简单，绿色环保且增加了金属蒸发材料的可利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 移动 装置 | ||
【主权项】：
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