[实用新型]用于半导体晶粒双面缺陷同时检测的照明补偿装置有效
| 申请号： | 201922292174.0 | 申请日： | 2019-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN211426309U | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 廖廷俤;颜少彬;陈武;陈文志 | 申请（专利权）人： | 泉州师范学院 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/95;G02B17/08 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 陆帅;蔡学俊 |
| 地址： | 362000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于半导体晶粒双面缺陷同时检测的照明补偿装置，包括光学检测装置，光学检测装置的光路上设置有直角转像棱镜，直角转像棱镜在半导体晶粒底面侧的直角边侧下方依次设置有直角照明补偿棱镜、补偿照明光源。结构简单，从补偿照明光源上发出的光束经直角照明补偿棱镜入射到直角转像棱镜直角边上，该光束折射后入射在直角转像棱镜的斜面上不满足全反射条件，而是从该斜面上出射并透过透明玻璃载物台照明半导体晶粒的底面，实现对半导体晶粒底面的照明补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 半导体 晶粒 双面 缺陷 同时 检测 照明 补偿 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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