[实用新型]一种用于碳化硅打磨加工的石蜡回收装置有效
| 申请号： | 201922299587.1 | 申请日： | 2019-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN211249602U | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 马红彬;宛鹏 | 申请（专利权）人： | 河南雅利安新材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/00 | 分类号： | B24B41/00;B24B55/12 |
| 代理公司： | 成都市鼎宏恒业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 51248 | 代理人： | 张勋 |
| 地址： | 450000 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种用于碳化硅打磨加工的石蜡回收装置，涉及半导体加工技术领域，其包括熔融罐和纯化罐，经过打磨工序之后，固定有工件的工件托盘被整体放入到熔融罐的内腔体内，石蜡在高温下融化，并经由内罐体上的通孔进入到外腔体，而工件和工件托盘则停留在内腔体内，完成分离。随后，石蜡由输液管道输送至纯化罐，在更高温度下，将石蜡中混合的水分蒸发出来，完成对石蜡的纯化。该石蜡回收装置的结构简单，使用方便，能够快速高效地回收石蜡并对石蜡进行纯化，利于对石蜡的循环使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 碳化硅 打磨 加工 石蜡 回收 装置 | ||
【主权项】：
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