[实用新型]玻璃晶圆抛光机有效
| 申请号： | 201922301404.5 | 申请日： | 2019-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN211439504U | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 蔡星周;王文君;穆俊宏;奉建华;张继华 | 申请（专利权）人： | 成都迈科科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B27/00;B24B47/12;B24B57/02;B24B47/22 |
| 代理公司： | 成都方圆聿联专利代理事务所(普通合伙) 51241 | 代理人： | 李鹏 |
| 地址： | 611731 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及玻璃晶圆加工领域，过来一种玻璃晶圆抛光机。该抛光机的顶板和底板之间设置有抛光切换转盘，抛光切换转盘上对称设置有至少两个转轴，各转轴上分别设置有抛光头，抛光切换转盘转动连接于下压轴上，下压轴连接于顶板和底板之间，并且下压轴设置有下压机构；抛光切换转盘的投影与抛光盘部分重叠；顶板上安装有驱动机构，驱动机构下方连接有主动齿轮，抛光头的转轴上设置有从动齿轮，当抛光头旋转至重叠范围进行抛光时，该抛光头的从动齿轮与主动齿轮相啮合。该玻璃晶圆抛光机在一个抛光头上的晶圆进行抛光时，另外的抛光头可以进行晶圆的取出和安装，节约了停机取放晶圆的时间，从而大大提高了抛光的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 抛光机 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于成都迈科科技有限公司，未经成都迈科科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201922301404.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种方管冲孔设备
- 下一篇：一种带有智能飞镖取还系统的飞镖机
