[实用新型]一种带有光互连接口的光电芯片三维封装结构有效
申请号: | 201922309483.4 | 申请日: | 2019-12-20 |
公开(公告)号: | CN210897268U | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 孙瑜;刘丰满;曹立强 | 申请(专利权)人: | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 |
主分类号: | H01L23/538 | 分类号: | H01L23/538;H01L21/768;G02B6/42 |
代理公司: | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人: | 张东梅 |
地址: | 214028 江苏省无锡市新区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种带有光互连接口的光电芯片三维封装结构,包括:光芯片,所述光芯片的一端具有光互连结构和凹槽;导电通孔,所述导电通孔贯穿所述光芯片;第一布线层,所述第一布线层设置在所述光芯片的正面,且与所述导电通孔电连接;第二布线层,所述第二布线层设置在所述光芯片的背面,且与所述导电通孔电连接;电芯片,所述电芯片设置在所述光芯片正面上方,且电连接所述第一布线层;盖板,所述盖板设置的所述光芯片的光互结构和凹槽的上方;塑封层,所述塑封层一体塑封所述光芯片的正面、电芯片和盖板;以及外接焊球,所述外接焊球设置在所述光芯片背面下方,且电连接所述第二布线层。 | ||
搜索关键词: | 一种 有光 互连 接口 光电 芯片 三维 封装 结构 | ||
【主权项】:
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