[实用新型]硅片清洗装置有效
| 申请号： | 201922309954.1 | 申请日： | 2019-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN212069846U | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 蒋天琪;程雪原;杨雪梅;周彬;郑旭然;王栩生 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/00 | 分类号： | B08B11/00;B08B3/08;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人： | 张相钦 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种硅片清洗装置，包括清洗槽组件及承载硅片的花篮，所述清洗槽组件包括容纳所述花篮的槽体，所述硅片清洗装置还包括供气组件，所述供气组件包括马达及连接至所述槽体内的供气管。与现有技术相比，本实用新型通过在密闭的槽体里面通入气体以形成高压环境，可抑制硅片清洗时气泡的上浮，从而避免花篮随硅片上浮，通过这种方式可改善“飘篮”的问题，改善硅片清洗不彻底的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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