[实用新型]一种基于同轴视觉系统的紫外激光加工装置

摘要

本实用新型公开了一种基于同轴视觉系统的紫外激光加工装置，包括反射镜片，成像镜片，同轴结构，视觉光源及振镜，激光光束从紫外激光器发出后沿轴向经过扩束镜，透过45度反射镜，依次经过振镜镜片，再透过场镜，聚焦后照射到工件上，从而对工件进行加工；其中，为了消除因人工每次上料时工件的位置误差，在激光器和工件之间设置了同轴CCD视觉系统，从而达到修正工件的位置误差的目的。通过二维偏振镜头，可以让工作台和工件固定不动，避免了工件运动带来的位置误差；通过同轴CCD视觉系统的“所见即所得”，消除人工每次的安装误差，通过以上一系列的设计，确保紫外激光加工的超高精度和极小的加工热影响。