[实用新型]晶圆湿制程设备用烘干槽装置有效
| 申请号： | 201922317686.8 | 申请日： | 2019-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN212320234U | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 王振荣;刘红兵;朱雄;卢鹏 | 申请（专利权）人： | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B21/00;F26B25/18 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201616 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆湿制程设备用烘干槽装置，包括槽壳体，所述槽壳体的内部设有供放置晶圆的内腔，所述槽壳体上安装有喷气管路，所述喷气管路伸入所述内腔以供向所述晶圆吹气，所述内腔的底部设有烘热底层，所述晶圆设置于所述烘热底层的上方。本实用新型所提供的晶圆湿制程设备用烘干槽装置，其结构简明，方便操作，烘干效果好，通过在槽壳体上安装喷气管路，并在槽壳体的内部设置烘热底层，将晶圆统一放在槽壳体的内腔后，便可围绕晶圆的四周及底面产生立体式的烘干效果。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆湿制程设 备用 烘干 装置 | ||
【主权项】：
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