[实用新型]一种陶瓷旋转靶材的等静压成型模具

摘要

本实用新型公开了一种陶瓷旋转靶材的等静压成型模具。本实用新型的等静压成型模具包括刚性模芯、弹性外模和端塞；弹性外模由一体成型的外模A部分和外模B部分组成，两端硬度小中间硬度大，在等静压成型时使得弹性外模收缩形变受到控制；本实用新型的弹性外模具有足够的刚性，防止填粉时产生变形，无需额外设置刚性外模支撑部件。本实用新型的端塞由一体成型的端塞A部分和端塞B部分组成，通过确定合适的硬度，解决管状生坯的象足形变和密度不均问题，有利于烧结得到高性能陶瓷靶材，同时减少了后期加工量，增加材料利用率，降低生产成本。