[实用新型]一种旋转溅射靶材管口保护装置有效
| 申请号： | 201922330026.3 | 申请日： | 2019-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN211443406U | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 郭文明 | 申请（专利权）人： | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 主分类号： | B65D59/06 | 分类号： | B65D59/06;B65D85/20 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 林晓宏 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种旋转溅射靶材管口保护装置，管口保护装置包括一用于盖合旋转溅射靶材的管口的环盖，环盖的内侧壁与旋转溅射靶材管口的外侧壁之间设置有紧固结构，环盖通过紧固结构紧固连接于旋转溅射靶材的管口，环盖的外侧朝中心凸出成型有凸肩，凸肩的内侧与旋转溅射靶材的管口面抵顶配合。与现有技术相比，本实用新型通过在旋转溅射靶材的管口安装环抱型的环盖，使旋转溅射靶材在运输过程中，避免旋转溅射靶材管口受到直接碰撞，导致管口以及表面结构受损。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 溅射 管口 保护装置 | ||
【主权项】：
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