[实用新型]一种探针卡测试用大载荷高精度电动Z轴位移台

摘要

本实用新型公开了一种探针卡测试用高精度电动Z轴位移台，其包括置物平台、位于置物平台下方且上端开口的缸体、位于缸体下端的固定台、位于缸体内部的升降块、固定于升降块下端的丝杆、连接于所述丝杆下端的联轴器、行星减速机及伺服电机；所述升降块的上端与所述置物平台连接，所述缸体的侧端设有光栅传感器，所述光栅传感器包括光限位固定杆、光电限位开关、光栅标尺及光栅读数头，所述光栅读数头可沿光限位固定杆滑动，所述光栅读数头与所述置物平台的侧端通过连接杆连接。本实用新型应用于探针卡检测过程中，操作方便，重复定位精度高，提高探针卡的检测效率。