[实用新型]加热器有效
| 申请号： | 201922334779.1 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN211471547U | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 向洪春;陈长荣 | 申请（专利权）人： | 上海思擎企业管理合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | C23C16/46 | 分类号： | C23C16/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200000 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种加热器，包括：主加热器，设置在托盘的正下方，所述托盘上承载有衬底，所述主加热器用于对所述托盘及所述托盘上的所述衬底进行加热；外加热器，环绕设置在所述主加热器的外侧，与所述主加热器大致在同一平面上；辅加热器，设置在所述主加热器的正下方，与所述主加热器之间存在一定的间隙；所述主加热器、所述外加热器和所述辅加热器的中心在同一个铅垂线上。本实用新型的加热器通过主加热器、外加热器和辅加热器的紧密配合，可以使得加热器的温度高、温场均匀、性能稳定、可快速升降温。 | ||
| 搜索关键词： | 加热器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
