[实用新型]真空离子镀膜设备的无漏点的视窗挡板机构有效

专利信息
申请号: 201922339538.6 申请日: 2019-12-24
公开(公告)号: CN211284528U 公开(公告)日: 2020-08-18
发明(设计)人: 白春阳;孙英斌;高琳 申请(专利权)人: 大连金泰正新科技有限公司
主分类号: C23C14/52 分类号: C23C14/52;C23C14/32
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 116600 辽宁省大连*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 实用新型属于一种真空离子镀膜设备的无漏点的视窗挡板机构,包括炉体(11),其特征是首先将视窗法兰(5)焊接在炉体(11)上,然后将磁环(2)放入旋钮(1)中,用磁环压紧螺母(3)压紧后套在轴套(4)上,将轴套(4)焊接在视窗法兰(5)上,用磁柱固定螺钉(6)把磁柱(7)固定在转轴(8)上,将转轴(8)插入轴套(4)中,用挡板固定螺钉(9)将挡板(10)固定在转轴(8)上,其中磁环(2)的内表面与磁柱(7)外圆柱面磁性相反,利用磁铁异极相吸的原理转动旋钮(1)即可带动转轴(8)旋转从而控制挡板(10)的开关,因轴套(4)是直接焊接在视窗法兰(5)上的,所以本真空离子镀膜设备的无漏点的视窗挡板机构无需密封结构,无漏点,也不存在漏气现象,长期使用更加可靠。
搜索关键词: 真空 离子 镀膜 设备 无漏点 视窗 挡板 机构
【主权项】:
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