[实用新型]一种清洗液供给装置有效
| 申请号： | 201922339782.2 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN211437167U | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 刘闽;李广圣;川村昌宏;叶宁;张勇;史海洋;李望;吴义 | 申请（专利权）人： | 成都中电熊猫显示科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/00 | 分类号： | B08B3/00;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 黄溪;刘芳 |
| 地址： | 610200 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种清洗液供给装置。本实用新型提供的清洗液供给装置，包括原液储液罐、第一储液罐和第二储液罐，原液储液罐和第一储液罐之间连通，第一储液罐和第二储液罐之间连通；其中，原液储液罐用于储存清洗原液，清洗原液进入第一储液罐且在第一储液罐内按预设配比形成清洗液，清洗液进入第二储液罐，且第二储液罐用于将清洗液输送至基板清洗腔室以对基板进行清洗。本实用新型的清洗液供给装置能够降低清洗液的消耗量，且可提高基板的清洗效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 供给 装置 | ||
【主权项】：
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