[实用新型]一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门有效
| 申请号： | 201922343259.7 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN211624306U | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 金永春 | 申请（专利权）人： | 无锡永井电子有限公司 |
| 主分类号： | F16K15/06 | 分类号： | F16K15/06;H01L21/67 |
| 代理公司： | 南京北辰联和知识产权代理有限公司 32350 | 代理人： | 王俊 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于半导体制造设备的逆流防止阀门，包括：阀门壳，其上部通道连通反应室的吸入口和其下部通道连通真空泵的排出口，上部通道的侧边设置有磁石；位于阀门壳内部的阀门板，其由磁石反应材质制成，并且同时受到重力和来自磁石的吸力，重力和吸力的方向相反；阀门板在与磁石贴合和与磁石相距预定距离的两个状态之间平移，以使得上部通道在闭合状态和开口状态之间转换；所述预定距离大于临界距离，并且小于所述上部通道和所述下部通道之间的直线距离；引导部，其连接上部通道和下部通道，阀门板沿着引导部在两个状态之间平移。本实用新型能够提高发生逆向压力时阀门的阻断效率，并使阀门壳内部污染物堆积最少化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 半导体 制造 设备 逆流 防止 阀门 | ||
【主权项】：
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