[实用新型]功率器件的金属焊盘结构有效
申请号: | 201922344184.4 | 申请日: | 2019-12-20 |
公开(公告)号: | CN210837730U | 公开(公告)日: | 2020-06-23 |
发明(设计)人: | 王鹏;徐大鹏;罗杰馨;柴展 | 申请(专利权)人: | 上海新微技术研发中心有限公司;上海功成半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 罗泳文 |
地址: | 201800 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供一种功率器件的金属焊盘结构,金属焊盘结构包括:位于功率器件表面的铝焊盘;以及覆盖于铝焊盘表面的金属叠层,金属叠层包括依次层叠的钛层、镍层及银层。本实用新型在铝焊盘上沉积金属叠层,所述金属叠层包括依次层叠的钛层、镍层及银层,可以大大增加金属焊盘的厚度,从而使得在封装打线可以大大加粗,保证封装打线的强度。本实用新型可保证金属焊盘的导电性以及耐腐蚀,并提高铝焊盘与银层之间的应力的匹配性,提高金属焊盘的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 功率 器件 金属 盘结 | ||
【主权项】:
暂无信息
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