[实用新型]一种抛光设备抛光液的温度自动调节装置有效

专利信息
申请号: 201922345531.5 申请日: 2019-12-24
公开(公告)号: CN211015177U 公开(公告)日: 2020-07-14
发明(设计)人: 刘保瑞;赵福臣;孙渤;王丕;毕晨;夏科睿 申请(专利权)人: 哈工大机器人(合肥)国际创新研究院
主分类号: G05D23/24 分类号: G05D23/24;C25F3/16;C25F7/00
代理公司: 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 代理人: 叶濛濛
地址: 236000 安徽省合肥市经*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型公开了一种抛光设备抛光液的温度自动调节装置,包括抛光槽、加热棒、冷却散热循环机构、和温度传感器组件;所述加热棒固定在抛光槽内部;所述冷却散热循环机构的进液口与抛光槽的出液口连通,所述冷却散热循环机构的出液口与抛光槽的进液口连通;所述温度传感器组件包括多个温度传感器,多个所述温度传感器呈相邻温度传感器之间的高度差相等的方式固定抛光槽内壁上。本实用新型的优点:可实现抛光液温度场的多点检测和抛光液温度的自动调节。
搜索关键词: 一种 抛光 设备 温度 自动 调节 装置
【主权项】:
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