[实用新型]一种用于半导体设备的光学检测装置

摘要

本实用新型公开了一种用于半导体设备的光学检测装置，包括光学检测仪本体，所述光学检测仪本体的底端一侧安装有两个万向脚轮，且光学检测仪本体的底端另一侧设置有两个方管支腿，所述方管支腿的顶部设置有阻尼合页，且方管支腿通过阻尼合页活动安装在光学检测仪本体上，所述方管支腿的底部设置有防滑座，且防滑座的上端外表面开设有矩形凹孔，所述方管支腿的上下两端均焊接连接有固定板，所述光学检测仪本体的侧面设置有两个定位机构，本实用新型所达到的有益效果是：利用可调节的方管支腿配合万向脚轮，既方便了光学检测仪的移动，也提高了光学检测仪的稳定性，且移动操作十分简单，同时显著提升了检测台的防尘性能，提高了检测结果的准确度。