[实用新型]一种CVD装置尾气处理装置

摘要

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种CVD装置尾气处理装置，该处理装置可以增大尾气与水的接触面积，且采用水幕与吸附结构相结合的方式对尾气进行处理，有效解决以往仅通过水幕处理效果不佳的问题。包括高温反应桶，所述的高温反应桶顶部设有进气管，所述的高温反应桶底部通过第一连接管与第一处理桶右侧相连通；所述的第一处理桶顶部通过第二连接管与第二处理桶的右端部相连接；所述的第一喷淋管上方的第一处理桶中设有第一吸附装置，所述的第二处理桶中间部分还设有竖向的第二吸附装置。它操作简单，使用方便，适用于多种场所。