[实用新型]成膜装置有效
| 申请号： | 201922370400.2 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN211771524U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 山根彻;小川雄太 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/50 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种成膜装置，该成膜装置通过磁铁吸附掩模而将掩模固定在基板上，经由所述掩模对所述基板进行成膜，其特征在于，所述成膜装置具备磁力施加机构，所述磁力施加机构包括：磁轭板；磁铁，所述磁铁安装在所述磁轭板的朝向蒸发源侧的第一面上，用于隔着所述基板对掩模施加磁力；框架，所述框架设置在所述磁轭板的与所述第一面相反一侧的第二面上，在所述框架设置有用于调整所述磁轭板相对于所述基板的倾斜的倾斜调整机构。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能特机株式会社，未经佳能特机株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201922370400.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：内镜手术装置
- 下一篇：带静压支撑的插装式二维磁悬浮伺服比例阀
- 同类专利
- 专利分类
