[实用新型]一种用于固定管状靶材的卡盘有效
| 申请号： | 201922373731.1 | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN211277677U | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 周其刚;黄家荣 | 申请（专利权）人： | 南京欧美达应用材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B5/35 | 分类号： | B24B5/35;B24B41/06 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 211102 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了靶材制造技术领域的一种用于固定管状靶材的卡盘，旨在解决现有技术中夹固管状靶材用的卡盘只能夹持固定尺寸的管状靶材，且卡盘与管状靶材之间刚性接触，容易影响管状靶材的打磨精度甚至造成其损失的技术问题。所述卡盘包括卡盘本体，所述卡盘本体包括不少于一个同轴心的支撑盘，所述支撑盘侧面套接有柔性圈体，所述支撑盘上下端面设有与其同轴心的轴杆，相邻支撑盘之间通过所述轴杆固定连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 固定 管状 卡盘 | ||
【主权项】：
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