[实用新型]FP标准具温漂参数校准装置有效

专利信息
申请号: 201922374898.X 申请日: 2019-12-25
公开(公告)号: CN211783905U 公开(公告)日: 2020-10-27
发明(设计)人: 刘广义;韩晓泉;江锐;冯泽斌;沙鹏飞;殷青青;周翊 申请(专利权)人: 北京科益虹源光电技术有限公司
主分类号: G01J9/02 分类号: G01J9/02
代理公司: 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 代理人: 曹卫良
地址: 100000 北京市大兴区经济*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型提供了一种FP标准具温漂参数校准装置,包括:检测模块,用于测量激光器产生的激光光束的中心波长并获取FP波长计测量所述激光光束过程中产生的温漂校准数据;以及控制器,用于根据温漂校准数据,计算得到温漂校准参数,根据温漂校准参数调整激光光;检测模块包括阴极灯、光强探测器等装置。阴极灯和光强探测器能够得到中心波长的漂移量以及设在FP标准具上的温度传感器测得的FP标准具的温度和温度导数,检测模块将测得的多组温漂校准数据传至控制器,控制器进而得到温漂校准参数,并根据温漂校准参数调控线宽压窄模块来对激光器的激光光束中心波长进行控制,解决了FP标准具测量中心波长带来的误差,维持激光器中心波长稳定。
搜索关键词: fp 标准 具温漂 参数 校准 装置
【主权项】:
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