[实用新型]一种具有缓冲功能的石英舟托暂存架有效
申请号: | 201922374934.2 | 申请日: | 2019-12-25 |
公开(公告)号: | CN211767566U | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 刘洋;邱祥 | 申请(专利权)人: | 浙江鸿禧能源股份有限公司 |
主分类号: | B65D61/00 | 分类号: | B65D61/00;B65D81/05;B65D25/10 |
代理公司: | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 翁斌 |
地址: | 314000 浙江省嘉*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种具有缓冲功能的石英舟托暂存架,包括有水平设置的安装梁和安装在安装梁上的左托架和右托架,所述左托架和右托架结构相同,其中左托架包括有托板和固定在托板上的安装块,安装块的一面设为安装面,左托架的安装面和右托架的安装面相对设置,安装面的下端两侧分别安装有支撑块,支撑块的上端面安装有垫片。本实用新型的石英舟托暂存架,具有缓冲功能,能有效地延长石英舟托的使用寿命,提高放置在石英舟托上的石英舟及硅片的安全性,降低硅片和石英舟托报废概率。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 缓冲 功能 石英 暂存 | ||
【主权项】:
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