[实用新型]一种碳化硅炉晶体搬运小车有效
申请号: | 201922380870.7 | 申请日: | 2019-12-26 |
公开(公告)号: | CN211731479U | 公开(公告)日: | 2020-10-23 |
发明(设计)人: | 李辉;王守琛;丁柏松 | 申请(专利权)人: | 南京晶升能源设备有限公司 |
主分类号: | B62B3/04 | 分类号: | B62B3/04;B62B5/00 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 张弛 |
地址: | 211113 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开一种碳化硅炉晶体搬运小车,包括底座、位于底座下方的车轮,还包括安装在底座上方且自下向上延伸的支架、位于支架上且同样自下向上延伸的线轨、与线轨配合的滑块、连接滑块的炉盖托盘;当碳化硅炉长晶结束后将小车推到设备内,滚珠丝杠带动炉盖托盘向上移动与下炉盖接触,扶手扶着热场外壁这时小车可将热场及晶体运往下套工序,这时另一辆装好料的小车可直接装好料的热场及坩埚送入炉体进行下一炉长晶,以提高生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 碳化硅 晶体 搬运 小车 | ||
【主权项】:
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