[实用新型]一种太阳能光伏镀晶装置

摘要

本实用新型涉及一种太阳能光伏镀晶装置，包括镀膜室，镀膜室周向缠绕镀膜室电热丝，镀膜室内部上端设有顶部气室，顶部气室两端设有端部小孔，顶部气室下端设有上电极板，上电极板下端设有下电极板，下电极板上端设有石墨舟，石墨舟上放置电池板。镀膜室上端设有工艺气体罐，工艺气体罐下端连接有供气管，供气管中部设有单向阀B，供气管下端连接有缓冲加温室，缓冲加温室左端设有温显，缓冲加温室周向缠绕有缓冲室电热丝，缓冲加温室下端连接有流量表，流量表下端连接有控制阀C，控制阀C下端连接在镀膜室上端。本实用新型的有益效果为：PECVD罐体受力均匀。工艺气体进入镀膜室时，先预热，并通过顶部气室两端流出，气流均匀，成膜时厚度均匀。