[实用新型]一种取方阻片装置

摘要

本实用新型涉及一种取方阻片装置，包括舟托输送线，其一端与扩散设备对接，另一端与升降缓存输送线对接，所述升降缓存输送线包括间隔平行设置的上层输送线和下层输送线，上层输送线和下层输送线之间通过连接件固定成一体，由升降组件驱动整体进行升降，分别使上层输送线、下层输送线周期性地与所述舟托输送线对接；上层输送线、下层输送线之间沿输送方向间隔安装有多个用于向上层输送线上取放石英舟的石英舟提升组件。本实用新型自动完成去片测方阻的步骤，自动提起石英舟，上下双层输送线实现连续取片功能，效率高。