[实用新型]内置式低温泵有效
| 申请号： | 201922393345.9 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN212202389U | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 陈家富;冯寅兵;呼鹏 | 申请（专利权）人： | 浙江博开机电科技有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/08 | 分类号： | F04B37/08 |
| 代理公司： | 浙江杭知桥律师事务所 33256 | 代理人： | 施贻华 |
| 地址： | 322200 浙江省金华市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及低温泵技术领域，公开了内置式低温泵，其包括制冷机(1)和冷板组件(2)，制冷机(1)与冷板组件(2)连接并冷却冷板组件(2)，还包括泵口法兰(3)，制冷机(1)和冷板组件(2)均固装在泵口法兰(3)上，泵口法兰(3)与待真空腔室(5)的开口处配合并实现密封，冷板组件(2)伸入待真空腔室(5)内并通过泵口法兰(3)进行固定。本实用新型通过无泵壳设计和内置于腔体腔体，使冷板组件于腔体内气体充分接触，这使得冷板组件对气体的吸附更加均匀，有效面积增大，吸附速度较传统低温泵有量级提升，同时由于其有效面积的增大，冷板组件对气体的吸留极限也有量级的提升。 | ||
| 搜索关键词： | 内置 低温泵 | ||
【主权项】：
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