[实用新型]一种适用于真空镀膜的衬底冷却装置

摘要

本实用新型公开了一种适用于真空镀膜的衬底冷却装置，涉及真空蒸镀装置技术领域。用于真空镀膜的衬底冷却装置，包括基板、材料仓和降温腔，所述基板的内部开设有材料仓，材料仓周围开设有降温腔，所述基板的底部设置有第一降温管、第二降温管和第三降温管，所述降温腔的内部开设有与第一降温管、第二降温管和第三降温管相适配的孔。适用于真空镀膜的衬底冷却装置，主要通过设置第一降温管内所通的高温水，对其所需要降温的材料进行小幅度的降温，其次，第二、三降温管进行缓慢的降温，对材料和坩埚起到了良好的保护作用，有效的避免了直接冷却降温对材料和坩埚本身造成的损害。