[实用新型]一种槽盖热风循环烘箱

摘要

本实用新型适用于光伏用硅片加工技术领域，提供了一种槽盖热风循环烘箱，包括烘箱外壳，其内设有隔板，将所述烘箱外壳分隔成烘干腔和风道，烘箱外壳上设有与所述风道连通的槽盖，所述风道内安装有加热装置，槽盖上设有若干出风口，所述出风口与所述烘干腔位置相对；硅片定位装置，设置在所述烘箱外壳的烘干腔内，用于对硅片进行装夹定位；以及风循环装置，用于使热风在所述烘干腔和风道之间循环运动，本实用新型的有益效果是：热风从槽盖上设置的出风口均匀的进入到烘干腔内，并且热风的出风方向与硅片的所在平面保持平行，且能根据气流角度对硅片的角度进行调整，不易造成硅片被吹碎的情况。