[实用新型]X光光栅有效
| 申请号： | 201922416141.2 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN211375113U | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 段晓东;张少邦 | 申请（专利权）人： | 段晓东;张少邦 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 齐云娜 |
| 地址： | 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供一种X光光栅，包括第一X光光栅组件和与之上下扣合的第二X光光栅组件，该第一X光光栅组件包括多个依次交替排列的第一透光基底切片和第一沉积结构切片，该第二X光光栅组件包括多个依次交替排列的第二透光基底切片和第二沉积结构切片；在该第一沉积结构切片与该第二沉积结构切片的相接处，该第一沉积结构切片的透光薄膜切片与该第二沉积结构切片的不透光薄膜切片相接，和/或该第一沉积结构切片的不透光薄膜切片与该第二沉积结构切片的透光薄膜切片相接。通过控制该透光薄膜与不透光薄膜的厚度，以及该透光基底与该沉积结构的厚度，可以形成大尺寸、高精度的X光光栅。 | ||
| 搜索关键词： | 光栅 | ||
【主权项】：
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