[实用新型]一种离子束镀膜聚焦离子源有效
| 申请号： | 201922420423.X | 申请日： | 2019-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN211125568U | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 安建昊;唐欢欢 | 申请（专利权）人： | 江苏普拉斯玛机械有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C14/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 225000 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子束镀膜聚焦离子源，包括放电室、安装在放电室内并与放电室绝缘的阳极筒、设置在阳极筒外周侧的若干磁极、安装在放电室的送气口前方且位于阳极筒内的阴极灯丝及依次安装在放电室正前方的聚焦屏栅和聚焦加速栅，阳极筒位于阴极灯丝的一端沿周开设有若干气孔，若干气孔上设有一圈中空的凸起，凸起与送气口连通。本实用新型提供一种离子束镀膜聚焦离子源，反应气体能够均匀分布在阳极筒内，提高了阴极灯丝发射的电子对反应气体电离度及均匀性。进而保证了产品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子束 镀膜 聚焦 离子源 | ||
【主权项】：
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