[实用新型]一种多镜头显微相机有效

专利信息
申请号: 201922447800.9 申请日: 2019-12-30
公开(公告)号: CN211236535U 公开(公告)日: 2020-08-11
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 无锡旭锠智能科技有限公司
主分类号: G03B15/02 分类号: G03B15/02;H04N5/225;H01L21/66
代理公司: 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 代理人: 陆滢炎
地址: 214000 江苏省无锡市新吴区*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种多镜头显微相机,包括相机本体、过渡台阶、橡圈一、橡圈二、镜头一、镜头二、光源一和光源二,所述过渡台阶设置在相机本体上,所述橡圈一、橡圈二分别设置在过渡台阶上,所述镜头一与橡圈一连接,镜头二与橡圈二连接,所述光源一、光源二均为同轴光源,所述光源一、光源二分别从侧面与镜头一、镜头二连接。本实用新型通过一组同轴光源对晶圆进行补光,补光均匀性好、亮度高,此外再通过双镜头扫描获取晶圆表面图像,扫描效率高、图像清晰度佳,从而可以提高检测效率及检测精度。
搜索关键词: 一种 镜头 显微 相机
【主权项】:
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