[实用新型]一种多镜头显微相机有效
申请号: | 201922447800.9 | 申请日: | 2019-12-30 |
公开(公告)号: | CN211236535U | 公开(公告)日: | 2020-08-11 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 无锡旭锠智能科技有限公司 |
主分类号: | G03B15/02 | 分类号: | G03B15/02;H04N5/225;H01L21/66 |
代理公司: | 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 | 代理人: | 陆滢炎 |
地址: | 214000 江苏省无锡市新吴区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种多镜头显微相机,包括相机本体、过渡台阶、橡圈一、橡圈二、镜头一、镜头二、光源一和光源二,所述过渡台阶设置在相机本体上,所述橡圈一、橡圈二分别设置在过渡台阶上,所述镜头一与橡圈一连接,镜头二与橡圈二连接,所述光源一、光源二均为同轴光源,所述光源一、光源二分别从侧面与镜头一、镜头二连接。本实用新型通过一组同轴光源对晶圆进行补光,补光均匀性好、亮度高,此外再通过双镜头扫描获取晶圆表面图像,扫描效率高、图像清晰度佳,从而可以提高检测效率及检测精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 镜头 显微 相机 | ||
【主权项】:
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