[实用新型]一种卷对卷石墨烯薄膜生长设备

摘要

本实用新型提供了一种卷对卷石墨烯薄膜生长设备，包括：真空腔室、真空泵以及设置于所述真空腔室和真空泵之间的阀门；所述真空腔室内包括：设置于真空腔室底部的镓池，镓池内部承载有液态镓；用于向镓池内通气的进气管；由依次设置的放卷辊、转向辊和收卷辊组成的传动设备；塑料薄膜安装在放卷辊，经转向辊后，卷绕于收卷辊上；其中转向辊浸渍于液态镓中。本实用新型上述装置利用液态镓分解甲烷，塑料薄膜在镓中传动，直接在塑料薄膜表面生长石墨烯薄膜。本实用新型可以直接在塑料基底上生长石墨烯薄膜，方法简单，成本低。