[实用新型]一种带有监测机构的晶圆装载支架

摘要

本实用新型公开了一种带有监测机构的晶圆装载支架，包括装载筒、承载板、大通槽、同步器、挡边块、丝杠、电机、超声波测距仪和支板，所述装载筒内部设有承载板，所述装载筒侧边开设有大通槽，所述装载筒外部顶端位于大通槽对应位置转动安装有丝杠，所述装载筒外壁位于丝杠顶端固定有支板，且支板端部安装有电机，且电机通过同步器与丝杠传动连接，所述承载板穿过大通槽与丝杠啮合连接，所述装载筒内壁对称固定有挡边块，且挡边块顶端呈斜面状，此晶圆装载支架可对晶圆稳定叠加装载，通过丝杠的驱动承载板升降，配合超声波测距仪的距离检测可稳定上移供料，便于后期加工的供料。