[实用新型]一种易于贴合的集成电路封装焊线机加热块有效
申请号: | 201922459252.1 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN211088207U | 公开(公告)日: | 2020-07-24 |
发明(设计)人: | 殷苏丹 | 申请(专利权)人: | 上海翔芯集成电路有限公司 |
主分类号: | H01L21/603 | 分类号: | H01L21/603;H01L21/683 |
代理公司: | 上海合进知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31324 | 代理人: | 王寿刚 |
地址: | 201808 上海市嘉定*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种易于贴合的集成电路封装焊线机加热块,包括凸台;所述凸台设于加热板上,所述加热板设于固定板上,所述凸台内设有贯穿固定板的真空孔,所述凸台设有两列,所述凸台之间两两均匀设置,所述凸台的两侧设有缓冲部,所述真空孔设有相适配的真空泵,真空泵通过气管将真空孔内气体抽出,使加热板与压板贴合;本实用新型通过在凸台上设有真空孔,通过真空泵将孔内气体抽取,进而使得压板与加热块之间的接触形成真空接触,改善真空吸附力度,提高压合效果,从而提升键合稳定性,降低NSOP及球形不良提高封装的紧密贴合度。 | ||
搜索关键词: | 一种 易于 贴合 集成电路 封装 焊线机 加热 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造