[实用新型]卤素气体定值漏率标准器有效

专利信息
申请号: 201922460356.4 申请日: 2019-12-30
公开(公告)号: CN211785408U 公开(公告)日: 2020-10-27
发明(设计)人: 王金朋;姜伟 申请(专利权)人: 上海东贝真空设备有限公司
主分类号: G01N33/00 分类号: G01N33/00;G01M3/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 200000 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种卤素气体定值漏率标准器,包括标准器本体,所述标准器本体内设置有储气罐,且标准器本体的正面设置有压力表和放气嘴,所述储气罐与一级调压阀连通,且一级调压阀与二级调压阀连通,且二级调压阀与放气嘴连通;通过设置一级调压阀、二级调压阀和压力表,压力表可以检测一级调压阀和二级调压阀之间的压力,且可以通过控制一级调压阀和二级调压阀的调节方式,而控制一级调压阀和二级调压阀之间的压力,当一级调压阀与二级调压阀被调节时,第二管道内的气体压力会发生改变,通过设置漏料元件,漏料元件可以计算第三管道内气体排出的量,让工人可以根据气体流量和压力表检测的数值结合,从而可以进行周期性校准卤素气体定值漏率。
搜索关键词: 卤素 气体 定值漏率 标准
【主权项】:
暂无信息
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