[实用新型]一种小型化卷材等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201922461991.4 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN211182151U | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 沈文凯;刘鑫培;王红卫 | 申请（专利权）人： | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司;苏州德睿源等离子体研究院有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京润川律师事务所 11643 | 代理人： | 张超 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种小型化卷材等离子体处理装置，包括真空腔、放料组件、收料组件、电极板、驱动组件；所述真空腔包括腔体、前盖板、后盖板，所述前盖板一侧与所述腔体通过铰链固定连接，另一侧通过把手组件与所述腔体固定连接；所述真空腔内设置有机架，所述放料组件、收料组件、电极板均设置在所述机架上；本实用新型解决了现有技术中等离子体处理设备主要是针对片材进行处理，等离子体均匀性差，处理效率低的缺陷，本实用新型能够实现对卷材进行等离子体处理，等离子体处理的均匀性好，等离子体处理效果佳，处理效率高，从而提高产品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 小型化 卷材 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
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